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PA-LASIII-01A 加速度传感器

用于测量三轴振动加速度的传感器,三轴中的每一轴加速 度传感器均采用高精度 MEMS 芯片,具有高性能、低价位、高可靠性和高封装坚固性,并具备温度传感器输出、自检测(Self-Test)功能,可实现温补和 BIT(Built-In-Test)。可用于汽车测控、惯性导航、地震监控、医疗器械、倾斜、速度和位置的测量、振动和冲击试验台加速度的测量等系统

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  • 一、简介
    PA-LASIII-01A系列三轴固态加速度传感器由西安精准测控公司
    自行研制,用于测量三轴振动加速度的传感器,三轴中的每一轴加速
    度传感器均采用高精度 MEMS 芯片,具有高性能、低价位、高可靠性
    和高封装坚固性,并具备温度传感器输出、自检测(Self-Test)功
    能,可实现温补和 BIT(Built-In-Test)。可用于汽车测控、惯性导
    航、地震监控、医疗器械、倾斜、速度和位置的测量、振动和冲击试
    验台加速度的测量等系统。
    二、原理
    PA-LASIII-01A 加速度传感器是建造在硅晶片顶部的表面 MEMS
    多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构,并提供一个克服加速
    度感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的
    中央板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结构的偏
    转,从而产生电压输出信号

  • 可用于汽车测控、

    惯性导航、地震监控

    、医疗器械、倾斜、

    速度和位置的测量、振动和冲击试

    验台加速度的测量等系统。
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